儀器檢測平晶的主要項目和方法

儀器校準工作平面平晶分成1級和2級。不同規格和級別其平面度要求見JJG28-2000《平晶檢定規程》中的計量性能要求。

儀器校準平晶比較法

直徑為30-150mm的1級、2級平面平晶用帶標準平晶的平面等厚干涉儀直接檢定；直徑為30-100mm的1級、2級平面平晶也可用2等標準平晶比較檢定；平面度的檢定應在任意相互垂直的兩個截面上進行。

直徑為150mm的1級平面平晶用平面等傾干涉儀與1等標準平晶比較檢定；直徑為150mm的2級平面平晶用平面等傾干涉儀與2等標準平晶比較檢定。

計量檢測時，將被檢平面平晶置于平面等厚干涉儀工作臺上，調整干涉條紋的調整，使被檢區域出現3或5條干涉條紋。當采用2等標準平晶比較檢定時，將平面平晶與標準平晶相互研合，使被檢區域出現3或5條干涉條紋。