納米尺寸的鍍層厚度測量

對于目前使用的絕大部分金相顯微鏡來說，尺寸測量功能已較為普遍并獲得廣泛應用，因此有必要對尺寸測量的準確性予以檢查。在普通的放大倍數范圍內，利用經校準的分度值為O．01rmn的玻璃刻度尺即可實現對金相顯微鏡尺寸測量誤差的校準。

2．5掃描電子顯微鏡 掃描電子顯微鏡的工作原理是利用電子束掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應(主要是樣品的二次電子和背散射電子發射)，通過對二次電子或背散射電子信號的成像來觀察樣品的表面形態。將鍍層樣品制成金相樣或利用一定的方法直接獲得鍍層的斷面，即可利用掃描電子顯微鏡測量鍍層厚度。

儀器維修由于掃描電鏡景深大、焦距長、成像清晰、放大倍數高，更適合亞微米及納米尺寸的鍍層厚度測量。通過直接對樣品的斷面進行掃描分析，也可避免金相制樣時對樣品鍍層邊緣的影響，從而獲得更高的測量精度。但由于掃描電鏡運行維護成本較高、樣品需破壞并需經一定的前處理，分析效率并不高，適合于在實驗室進行分析研究或抽樣檢測。目前我國有"JJG550—88掃描電子顯微鏡檢定規程(試行)"，是由上海市計量測試技術研究院早提出并起草，1988發布并試行。隨著科學技術的進步和掃描電子顯微設備的飛速發展，該規程中有些檢定方法已不適合現今的檢定實際要求，但至今該規程仍未進行過修訂。

JJG550—88規定了對掃描電鏡的放大倍數誤差、放大倍數示值重復性、圖像線性失真度等重要指標進行檢查，與金相顯微鏡一樣，尺寸測量同樣是掃描電鏡設備使用較多的重要功能，但規程中并未提出對尺寸測量誤差進行檢查。

目前，儀器校驗用于掃描電鏡校準用的標樣如格柵、線寬、線節距樣板等基本都來自國外，在國內一直存在著量值溯源問題。受標樣的限制，目前可對掃描電鏡進行校準的計量單位并不多，迫切需要國內研究機構研發多種類型的標準樣板并解決量值溯源問題。

3結束語 目前已存在多種商品化的鍍層厚度測量儀，由于其工作原理和特點不同，適用于不同場合。電解式測厚儀和金相顯微鏡缺少國家計量 校準規范、掃描電子顯微鏡的試行檢定規程也已不符合當前儀器的實際檢定要求，因此急需國內計量單位開展相關規程和規范的制、修訂工作。電解式測厚儀、x熒光測厚儀以及掃描電子顯微鏡的檢定和校準都需專用的標準樣品，而目前這幾類標樣基本都依賴進口，同時在國內也存在量值溯源問題，迫切需要國內計量機構開展相關的研究工作。