真空計的校準

如今，真空在我們日常生活中被廣泛應用于高端產品的生產及制造，并且扮演著重要角色。例如：在科研，工業流程，手機芯片，硬盤，太陽能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領域。

在當今的生產活動中，我們對真空度測量的儀器校驗精確性、標準化、可靠性和重復性的要求是至關重要的。當我們在進行測量的時候，高精度又是關鍵中的關鍵：

精度的高低會直接影響產品的生產質量，科學實驗的準確性和設備使用的可靠性。

要確保真空計使用時的高可靠性，就必須經常對它進行校準或標定。而根據每個不同應用的具體要求，這些校準工作必須符合國內或相關的國際標準。

經濟、高效、精準、國際化的機構校準及標定替代解決方案

生產活動中，真空計往往需要對外專業機構進行校準和標定。然而在對量大或校準間隔要求短的條件下，使用經濟的測量儀器進行現場校準能大大節約時間和費用。

普發真空緊湊型的校準泵組就能夠組建起這樣一個系統。真空技術網（http://www.chvacuum.com/）認為這個易于使用的便攜式系統是專為同時在線進行多個儀器檢測而量身定做的。其系統具有使用便捷、快速及符合人體工學標準的特點。

HiCube校準專用泵組

校準要求

在進行校準前，必須滿足如下條件：

■ 系統極限壓力ρE 必須超過小校準壓力ρmin的50倍

(ρE ≤ ρmin/50)

■ 環境溫度必須恒定 (± 1°C)

■ 校準系統必須熱穩定

■ 標準真空計和其他真空計在測量時真空度必須穩定

普發真空解決方案

普發真空提供了一套緊湊、便攜的泵組用于校準。這套泵組由一套渦輪分子泵組(例如，HiCube 80 Eco)和一個采用玻璃珍珠噴沙工藝的不銹鋼腔體組成。

渦輪分子泵組由一個帶Holweck級的(HiPace 80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP 015-2)組成。這款泵組的抽速高可達67 l/s并且終真空度可達1 ? 10-7 hPa。

不銹鋼腔體上有六個真空計連接口。如果客戶要求，兩個參考標準(1 hPa和1,000h Pa)和一個冷陰極真空計能夠預裝在這套系統中。比如，壓力控制和歸零調整的預裝。所有的真空計都進行了預校準并且符合德國認證機構(German: Deutsche Akkreditierungsstelle –DAkkS)的標準。這就使得校準真空計可以被有效的實施并且符合法律和規范要求，并且這個標準是一個國際化上認可的標準。

此外，多四臺真空計能安裝在不銹鋼腔體上同時進行校準。裝置內要求6臺相接的真空計要求的真空度相同，真空技術網（http://www.chvacuum.com/）認為這就需要在校準的時候，用獨立的進氣閥來設定并且控制真空度。

HiPace渦輪分子泵橫截面

系統配件一覽

渦輪分子泵

渦輪分子泵(英簡: turbopumps, TMP)是由多級的，渦輪狀帶葉片的轉子通過一個無刷直流電機驅動復合軸承構成。在轉子葉片之間，有一個定子葉片，定子葉片結構與轉子相似，但與轉子成鏡像安裝。

分子泵的原理由是利用氣體分子和高速運動的轉子互相碰撞而將氣體分子帶出系統外。氣體分子碰撞到轉子的表面反彈后，將會在其原來的熱分子速度之外獲得一部分與轉子表面運動方向平行的額外速度。為了避免分子間的干擾而使運動速度下降，平均自由程的距離必須大于葉片之間的距離。因此，真空技術網（http://www.chvacuum.com/）認為就需要一個前級泵連接在分子泵的上游以確保分子泵內粒子密度足夠的小。

普發真空渦輪分子泵出色的表現是因為：

■ 氣體壓縮高，氣流量大

■ 前級壓力高

■ 整體式驅動單元和冷卻系統

■ 高抽速：10 - 2,000 l/s

隔膜泵

隔膜泵由傳動部分和隔膜缸頭兩大部分組成。通過進氣閥把氣體引入腔室然后傳遞到出氣閥排出氣體。

在此應用條件下，泵的終壓力可達70 hPa，抽速高可接近10 m3/h。

普發真空隔膜泵的優勢：

■ 干泵無油

■ 膜片經久耐用

■ 震動低，噪音輕

■ 高穩定性

■ 易于維護

普發真空的校準泵組廣泛應用于各種生產過程中，并提供可靠和高質量的真空度測量。

普發真空校準泵組產品優勢一覽：

■ 比外部校準價格低

■ 符合國內和國際標準

■ 便攜式在線校準

■ 可多臺設備同步校準

1) 平均自由程是一個氣體分子在連續兩次碰撞之間可能通過的各段自由程的平均值。

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

波爾登規（Bourdon）

細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。

這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm