間接測量的函數誤差  采用間接測量時，需按一定的函數關系計算測量誤差。

測量力引起的誤差  采用接觸測量時，為了保證可靠的接觸，必須給測頭施加一定的測量力。測量力將使被測工件和測量器具的零部件產生彈性變形或其它狀態的變化（如間隙、摩擦等狀態之變化），引起測量誤差一般測量中此項誤差可以忽略，但在精密測量或對小尺寸、軟材料測量時，應予以分析、估算并在必要時加心修正。接觸測量中壓陷量的計算公式。

儀器校準定位安裝方法誤差  由被測工件測量基面的選定及其安裝方式所造成的誤差稱為定們安裝方法誤差當所選擇測量基面與設計基面或工藝基面不重合時，會產生定位方法誤差若測量基面選擇正確，則由于安裝方式的不同，也會產生不同的測量誤差例如，測量軸徑時，若將工件置于平臺上就存在素線形狀誤差的影響，而安裝在小球臺上，并在擺中測量，就不存在安裝方式

基準的體現方法有模擬法、直接法、分析法和目標法等四種。

1.模擬法  以具有足夠形狀和位置精度的表面體現基準平面、儀器校準基準軸線和基準點。多基準用模擬法體現時，要注意基準的順序及基準建立的原則。

模擬法是一種常用的體現基準備的方法。當實際基準要素五花八門誤差較小，又能與模擬基閃實現穩定接觸時，可以獲得較高的精度。若基準要素的尺寸較大，模擬基準的制造和使用都比較困難就不宜采用模擬法。

2.直接法  當實際基準要素具有足夠的形狀和位置精度時，可直接作為基準。例如，用兩點法測量兩平行平面之間的局部實際尺寸，以確定被測表面對基準平面的平行度誤差；測量圓心至兩基準邊對就點之間的距離，以確定被測圓心的位置度誤差。

直接法比較方便，但基測量結果受實際基準要素的形位誤差的影響較大。

3.分析法  對實際基準要素進行測量后，根據測得數據，用圖角或計算的方法確定基準的位置。

分析法比較麻煩。多在測量精度要求較高，或為分析工藝過程時采用。

4.目標法  當設計圖樣規定用基準目標建立基準時，可按圖樣標注的要求，在規定的位置上、按規定的尺寸和形狀，以適當形式的支承來體現基準。點目標可用球端支承體現，線目標可用刀口支承或圓柱支承的互線體現，面目標可用與圖樣規定的形狀和尺寸相應的平面支承體現。