間接測量的函數(shù)誤差  采用間接測量時，需按一定的函數(shù)關(guān)系計算測量誤差。

測量力引起的誤差  采用接觸測量時，為了保證可靠的接觸，必須給測頭施加一定的測量力。測量力將使被測工件和測量器具的零部件產(chǎn)生彈性變形或其它狀態(tài)的變化（如間隙、摩擦等狀態(tài)之變化），引起測量誤差一般測量中此項誤差可以忽略，但在精密測量或?qū)π〕叽纭④洸牧蠝y量時，應(yīng)予以分析、估算并在必要時加心修正。接觸測量中壓陷量的計算公式。

儀器校準(zhǔn)定位安裝方法誤差  由被測工件測量基面的選定及其安裝方式所造成的誤差稱為定們安裝方法誤差當(dāng)所選擇測量基面與設(shè)計基面或工藝基面不重合時，會產(chǎn)生定位方法誤差若測量基面選擇正確，則由于安裝方式的不同，也會產(chǎn)生不同的測量誤差例如，測量軸徑時，若將工件置于平臺上就存在素線形狀誤差的影響，而安裝在小球臺上，并在擺中測量，就不存在安裝方式

基準(zhǔn)的體現(xiàn)方法有模擬法、直接法、分析法和目標(biāo)法等四種。

1.模擬法  以具有足夠形狀和位置精度的表面體現(xiàn)基準(zhǔn)平面、儀器校準(zhǔn)基準(zhǔn)軸線和基準(zhǔn)點。多基準(zhǔn)用模擬法體現(xiàn)時，要注意基準(zhǔn)的順序及基準(zhǔn)建立的原則。

模擬法是一種常用的體現(xiàn)基準(zhǔn)備的方法。當(dāng)實際基準(zhǔn)要素五花八門誤差較小，又能與模擬基閃實現(xiàn)穩(wěn)定接觸時，可以獲得較高的精度。若基準(zhǔn)要素的尺寸較大，模擬基準(zhǔn)的制造和使用都比較困難就不宜采用模擬法。

2.直接法  當(dāng)實際基準(zhǔn)要素具有足夠的形狀和位置精度時，可直接作為基準(zhǔn)。例如，用兩點法測量兩平行平面之間的局部實際尺寸，以確定被測表面對基準(zhǔn)平面的平行度誤差；測量圓心至兩基準(zhǔn)邊對就點之間的距離，以確定被測圓心的位置度誤差。

直接法比較方便，但基測量結(jié)果受實際基準(zhǔn)要素的形位誤差的影響較大。

3.分析法  對實際基準(zhǔn)要素進(jìn)行測量后，根據(jù)測得數(shù)據(jù)，用圖角或計算的方法確定基準(zhǔn)的位置。

分析法比較麻煩。多在測量精度要求較高，或為分析工藝過程時采用。

4.目標(biāo)法  當(dāng)設(shè)計圖樣規(guī)定用基準(zhǔn)目標(biāo)建立基準(zhǔn)時，可按圖樣標(biāo)注的要求，在規(guī)定的位置上、按規(guī)定的尺寸和形狀，以適當(dāng)形式的支承來體現(xiàn)基準(zhǔn)。點目標(biāo)可用球端支承體現(xiàn)，線目標(biāo)可用刀口支承或圓柱支承的互線體現(xiàn)，面目標(biāo)可用與圖樣規(guī)定的形狀和尺寸相應(yīng)的平面支承體現(xiàn)。