概述無塵室測試與認證

儀器校驗無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。

按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。

當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

計量校準所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要儀器維修求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也 儀器檢測檢定  就是業內俗稱的1K級別。

在測試無塵室之前，若是能對測試規范、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解，對測試當有幫助。這里是一些背 長度計量校準實驗室景資料，提供給讀者參考。

有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準，在網絡上用〝contamination control〞搜尋，可以找到很多相關數據。無塵室的定義，是在美國聯邦標準209上出現，之后日漸普及并廣為半導體業與制藥業接受。儀器計量在歐洲與日本，隨著工業的 千分尺維修 日益發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代后期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，于是有ISO-14644的產生。

無塵室測試范圍

凡是和無塵室環境控制有關的因素，都在無塵室認證的范圍之內。儀器校驗在無塵室完工之前，業主、施工單位、與測試單位，應就以下幾個主題做詳細討論并達成協議，以利測試進行。

待測無塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網位置、與數量 。