計量檢測圓度規項目

對于準確度等級為一級的儀器應檢定此項目，其他等級的可不作檢定。

采用超精密微動臺以具有納米分辨力的傳感器作為標準儀器采用比較法進行檢定。超精密微動臺的示值誤差不大于o.006Vm；示值變動性不大于i  ：0.004產m；靈敏閾不大于0.001pm。

計量檢測檢定時，濾波器旋鈕置全通擋，測桿長度開關置標計量儀器校準準短測桿位置。圓度儀或圓柱變儀的傳感器測頭與超精密微動臺的工作面接觸時。

使被檢儀器的傳感器指示值位于零附近，操作時逐擋增加放大倍數直到高放大數擋。在超精密微動臺上被檢儀器的傳感器與標準儀器的力值儀器檢定傳感器應布置在同一測量軸線上。最小位移量2nm左右，計量儀器校準用超精密微動臺驅動器驅動工作臺，產生位移運動，給出觀察被檢儀器傳感器指示值。傳感器指示值應有相應的變化值。