光干涉儀器使用前的調(diào)整
[在線咨詢] 時(shí)間:2021-05-21光干涉儀器使用前的調(diào)整
使用計(jì)量檢測(cè)前的調(diào)整
干涉顯微鏡調(diào)整的主要目的，是使目鏡視場(chǎng)中呈現(xiàn)反映被測(cè)表面粗糙度的清晰干涉條紋，以便測(cè)量。
各種類型的儀器使用調(diào)整不盡相同，詳細(xì)參看相應(yīng)的使用說明書．外校計(jì)量下面以常用的雙光束干涉顯微鏡為例，介紹調(diào)整步驟：
(1)調(diào)節(jié)光源，使目鏡視場(chǎng)照明均勻。調(diào)整目鏡視度，使視場(chǎng)中分劃板刻線清晰。
(2)將被測(cè)表面置于物鏡的上方。儀器校驗(yàn)用遮光板擋住參考鏡一路的光束，對(duì)被測(cè)件表面調(diào)焦'直至視場(chǎng)中出現(xiàn)清晰的加工紋路的顯微圖像。
(3)將遮光板從參考光路中移開，長(zhǎng)度計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室視場(chǎng)中應(yīng)出現(xiàn)干涉條紋。若不出現(xiàn)干涉條紋，儀器檢測(cè)檢定一般是由于參考鏡光路未調(diào)好'造成兩路光的光程不相等，應(yīng)對(duì)參考光路的物鏡調(diào)焦。
(4)檢測(cè)調(diào)整干涉條紋的方向，使其與被測(cè)表面加工紋路垂直，并調(diào)整干涉條紋的寬度以5mm～lOmm為宜。
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