干涉法測量Rz長度參數
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[在線咨詢] 時間:2021-05-21
[在線咨詢] 時間:2021-05-21干涉法測量Rz長度參數
(1)確定取樣長度干涉顯微鏡的視場范圍各類型之間有所不同，一般為0.25mm或0.32mmo當被測表面Rz值≥0.025pLm-,0.5PLm時，取樣長度為0.08mm或0.25mm．儀器校正測量可在一個視場內測量當尺z值≥0.51um-0.8rum時，計量外校時，取樣長度為0.8mm，需要移動工作臺，在3個連續的視場里測量。
(2)確定評定長度評定長度應包含5個連續的取樣長度，可視被測表面的情況測多于5個或少于5個取樣長度。
計量校準每一取樣長度內測算出一個Rz值，外校檢測儀器時再取平均值作為該評定長度內的Rz值。
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