微納米的超精密測量技術是代表性的研究領域

基于這一模型理論，對測試功能虛擬控件進行多次、深度集成制造便可由上述模型演變成為一個"有界無限"、包含大量測試儀器并可實際使用的復雜、巨型虛擬測試儀器庫。這是一個復雜的功能測試系統，同時也是一個開放的系統。對于他已有的資源可以立即滿足測試的要求，他還沒有的資源可以很快地在模型內自動生成或開發，從而可以繼續滿足任何新的測試需求。

通過這一模型的建立，將使傳統儀器的"單機"概念消失，代之而起的是經多次、深度集成制造而成的大型"儀器庫"。在將來的測試儀器中，儀器庫將成為測試測量所使用的儀器"單位"，而同一行業的只需使用這一儀器"單位"便可滿足其全部測試要求。

計量校正微/納米技術迅速發展  微/納米技術作為當前發展迅速，研究廣泛、投入多的科學技術之一，被認為是當前科技發展的重要前沿。在該科技中，微/納米的超精密測量技術是代表性的研究領域，也是微/納米科技得以發展的前提和基礎。

儀器校驗在微/納測量領域，基礎問題包括納米計量、納米測量系統理論與設計、微觀形貌測量等方面，主要研究問題和方向為：基于掃描電子顯微鏡的精密納米計量、微納坐標測量機（分子測量機）、基于干涉的非接觸微觀形貌測量、基于原子晶格作刻度的X 射線干涉測量及其與光學干涉儀的組合原理、納米測量系統設計理論和微納尺寸測量條件的研究等。