微納米的超精密測(cè)量技術(shù)是代表性的研究領(lǐng)域

基于這一模型理論，對(duì)測(cè)試功能虛擬控件進(jìn)行多次、深度集成制造便可由上述模型演變成為一個(gè)"有界無限"、包含大量測(cè)試儀器并可實(shí)際使用的復(fù)雜、巨型虛擬測(cè)試儀器庫。這是一個(gè)復(fù)雜的功能測(cè)試系統(tǒng)，同時(shí)也是一個(gè)開放的系統(tǒng)。對(duì)于他已有的資源可以立即滿足測(cè)試的要求，他還沒有的資源可以很快地在模型內(nèi)自動(dòng)生成或開發(fā)，從而可以繼續(xù)滿足任何新的測(cè)試需求。

通過這一模型的建立，將使傳統(tǒng)儀器的"單機(jī)"概念消失，代之而起的是經(jīng)多次、深度集成制造而成的大型"儀器庫"。在將來的測(cè)試儀器中，儀器庫將成為測(cè)試測(cè)量所使用的儀器"單位"，而同一行業(yè)的只需使用這一儀器"單位"便可滿足其全部測(cè)試要求。

計(jì)量校正微/納米技術(shù)迅速發(fā)展  微/納米技術(shù)作為當(dāng)前發(fā)展迅速，研究廣泛、投入多的科學(xué)技術(shù)之一，被認(rèn)為是當(dāng)前科技發(fā)展的重要前沿。在該科技中，微/納米的超精密測(cè)量技術(shù)是代表性的研究領(lǐng)域，也是微/納米科技得以發(fā)展的前提和基礎(chǔ)。

儀器校驗(yàn)在微/納測(cè)量領(lǐng)域，基礎(chǔ)問題包括納米計(jì)量、納米測(cè)量系統(tǒng)理論與設(shè)計(jì)、微觀形貌測(cè)量等方面，主要研究問題和方向?yàn)椋夯趻呙桦娮语@微鏡的精密納米計(jì)量、微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（分子測(cè)量機(jī)）、基于干涉的非接觸微觀形貌測(cè)量、基于原子晶格作刻度的X 射線干涉測(cè)量及其與光學(xué)干涉儀的組合原理、納米測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)理論和微納尺寸測(cè)量條件的研究等。