涉及的重要工程測量問題

涉及的重要工程測量問題有：面向MEMS 和MOEMS 的微尺度測量、面向22 nm～45 nm極大規模集成電路制造的測量等。

3.5 發展超大尺寸測量和超大型設備

超大尺寸測量的主要任務是獲取與評價大型和超大型裝備與系統制造過程中機械特性和物理特性等信息，分析各影響制造性能的要素與機理，為提升制造能力與水平提供科學依據。

儀器維修在超大尺寸測量領域內的、共性基礎問題包括距離測量原理、超大尺寸空間坐標測量、超大尺寸測量的現場溯源原理與方法。代表性研究方向和重要測量問題，如：大尺寸、高速跟蹤坐標測量系統；車間范圍空間定位系統（WPS）；

儀器校驗GPS 在超大機械系統中的應用關鍵技術；數字造船中結構尺寸、容積測量；飛機制造中形狀尺寸測量；超大型電站裝備和重機裝備制造中的測量；面向大型尖端裝備制造的超精密測量等。

3.6 大力發展基準、標準技術

基準標準技術是測試計量技術水平的高表現形式，是發展超精密制造的前提和保障，也是引導促進先進加工和測量技術發展的技術基礎。基準標準技術滯后將嚴重制約精密制造和裝備制造業的發展。

尤其是，在過去的10年中超精加工技術的提高使得工業界可以制造以前難以想象的微小和形狀復雜的工件，表面粗糙度正在達到原子級尺度，并可由像原子力顯微鏡等這樣復雜的顯微鏡來進行測量。但是相應的標準還沒有制定，需要制定新的納米尺度上表面粗糙度和公差測量標準作為新的納米測量基礎。